Plasma display panel with a low k dielectric layer

Panneau au plasma dote d'une couche dielectrique a effet de contraste

Abstract

A plasma display panel including a low k dielectric layer (44). In one embodiment, the dielectric layer (44) is comprises a fluorine-doped silicon oxide layer such as an SiOF layer. In another embodiment, the dielectric layer (44) comprises a Black DiamondTM layer. In certain embodiments, a capping layer (46) such as SiN or SiON is deposited over the dielectric layer (44).
L'invention concerne un panneau au plasma comportant une couche diélectrique à effet de contraste. Selon l'un des modes de réalisation de la présente invention, la couche diélectrique se compose d'une couche d'oxyde de silicium dopée au fluor, telle qu'une couche SiOF. Selon un mode de réalisation différent, la couche diélectrique est composée d'une couche Black DiamondTM. D'après d'autres modes de réalisation, on dépose une couche de couverture, SiN ou SiON par exemple, sur la couche diélectrique.

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Patent Citations (5)

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